ابتدا از پمپ چرخشی برای پمپاژ سیستم تا 10-2 Pa استفاده می شود روغن پمپ انتشار گرم و جوش می شود و مولکول های گازی موجود در سیستم به طور مداوم به لامپ آرنج سمت بازوی جانبی پمپ با سرعت زیاد از بیرون می رود. جریان بخار روغن. محدوده کاری پمپ خلاء مکانیکی رسیده و خارج می شود و بدین ترتیب به تدریج خلاء بالایی به دست می آید.
پمپ خلاء دستگاه یا دستگاهی است که از یک روش مکانیکی ، فیزیکی ، شیمیایی یا فیزیکوشیمیایی برای تخلیه یک ظرف پمپ شده برای بدست آوردن خلا استفاده می کند. پمپ های خلاء دستگاه هایی هستند که خلاء را در یک فضای بسته به روش های گوناگون بهبود می بخشند ، ایجاد می کنند. در حقیقت ، طبق اصل عملکرد پمپ خلاء ، پمپ های خلاء را می توان اساساً به پمپ های تله گاز و پمپ های انتقال گاز تقسیم کرد. کاربردهای پمپ خلاء شامل صنایع برق ، پتروشیمی ، دارویی ، کاغذ ، محیط زیست ، متالورژی ، مواد غذایی ، نوشیدنی ، پوشش الکترونیکی و سایر صنایع می باشد.
